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CuO/SiO2复合薄膜的微观结构和发光特性分析
采用射频磁控共溅射法在硅衬底上沉积Cu/SiO2复合薄膜,然后在N2保护下高温退火,再于空气中自然冷却氧化,制备出低维CuO纳米结构,并......
期刊
射频磁控共溅射法
CuO/SiO2复合薄膜
微观结构
光致发光特性
radio frequency magnetron co-sputtering
cupri
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